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精密气浮隔振光学平台

bifa必发集团光电研发造作的精密气浮隔振光学平台,可能满足精密负载对振动隔离需要。上面板选取优质高导磁SUS430不锈钢,台面内核为三层夹心式蜂窝结构,内核密度大幅度提高,拥有优良的硬沉比和刚性,同时保障了较低的固有频率,具备行业较高的隔振成效。上台面选取精密磨削工艺,平面度可达0.05mm/㎡,表表粗糙度<0.6um,回旋打磨工艺断根毛边,达到无反射、哑光成效,面板拥有M6阵列螺孔,易于固定光学元件。

产品介绍

  bifa必发集团光电研发造作的精密气浮隔振光学平台,可能满足精密负载对振动隔离需要。上面板选取优质高导磁SUS430不锈钢,台面内核为三层夹心式蜂窝结构,内核密度大幅度提高,拥有优良的硬沉比和刚性,同时保障了较低的固有频率,具备行业较高的隔振成效。上台面选取精密磨削工艺,平面度可达≤0.05mm/㎡,表表粗糙度<0.6um,回旋打磨工艺断根毛边,达到无反射、哑光成效,面板拥有M6阵列螺孔,易于固定光学元件。

  气浮支架选取整体焊接工艺(四支持或六支持结构),半膜片式空气弹簧,选取进口三水平调节阀技术,反映活络,响应迅速,在超载偏沉的尝试前提下,能瞬间复原初始的平衡状态。支持腿内部为二级气室结构,气室间带有阻尼孔,气动元件全数选取德国FESTO产品,标配优质大功率超静音压缩机,整体结构保障平台有较高的不变性。

技术参数:

参数名称参数指标
平面度≤0.05mm/m?
表表粗糙度<0.6μm
固有频率X方向: 1.2~2Hz, Y方向: 1.2~2Hz
振幅<2μm
螺孔间距25mm
孔距公差±0.05mm
螺孔规格M6(公造)
螺孔公差±0.03mm
载荷能力300Kg/m?
台面厚度100mm/150mm/200mm/250mm/300mm
台面沉量120Kg/m?@100mm厚, 140Kg/m?@200mm厚, 165Kg/m?@300mm厚 (≈)

产品选型表:

产品型号尺寸 (㎜)载荷 (kg)支持腿数量支架宽度 (㎜)
PLGZQ-06600x600x8008004120x120
PLGZQ-075750x750x8008004120x120
PLGZQ-0906900x600x8008004120x120
PLGZQ-10071000x700x8008004120x120
PLGZQ-10081000x800x8008004120x120
PLGZQ-12081200x800x8008004120x120
PLGZQ-15091500x900x80014004200x200
PLGZQ-15101500x1000x80014004200x200
PLGZQ-16091600x900x80014004200x200
PLGZQ-18121800x1200x80014004200x200
PLGZQ-20102000x1000x80014004200x200
PLGZQ-20122000x1200x80014004200x200
PLGZQ-20152000x1500x80014004200x200
PLGZQ-24122400x1200x80014004200x200
PLGZQ-24152400x1500x80020004200x200
PLGZQ-30103000x1000x80020006200x200
PLGZQ-30123000x1200x80020006200x200
PLGZQ-30153000x1500x80020006200x200
PLGZQ-35123500x1200x80020006200x200
PLGZQ-35153500x1500x80020006200x200
PLGZQ-40154000x1500x80025006200x200
PLGZQ-42154200x1500x80025008200x200
PLGZQ-48154800x1500x80025008200x200
PLGZQ-54155400x1500x800250012200x200
PLGZQ-60156000x1500x800250012200x200

定造选项:

定造方式示意图定造注明
无磁定造

精密无磁气浮隔振光学平台png.png

支持(台面)无磁和(台面支架)整体全无磁两种大局

左图为中电某所PLGZQ-1815全无磁精密型气浮隔振光学平台

非尺度尺寸定造

非标尺寸光学平台.jpg

各类非尺度型号尺寸均可定造

左图为2.7x1.5米阻尼隔振光学平台

异型结构定造

异型结构定造.png


非尺度矩形台面等异型结构来图定造

各类刻度线定位标识

刻度线.png

刻度线和定位标识定造

细节展示:

气浮隔振光学平台1.jpg

测试汇报:

垂直固有频率
垂直固有频率.PNG
水平固有频率
水平固有频率.PNG
振幅
振幅.png


测试汇报:

西湖大学——气浮.jpg

西湖大学——平台.jpg

乐山大学—气浮.jpg

哈工大(丽江)——气浮平台.jpg

*各类尺寸规格均可按客户需要定造。

还可点击 bifa必发集团商城:精密气浮隔振光学平台,查看更多产品信息

标签: 光学平台

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