• 直径8英寸，高度7英寸的304材质真空室；

• 上盖带4英寸石英观察窗；

• 下法兰带固定端，与光学平台衔接；

• 直径为4英寸的紫铜材质样品台，平坦度5μm

• 1个KF40抽真空排气口，3个CF16充气口，1个KF16电阻规接口，1个KF16放气口，1个KF40预留接口，1个DN63 BNC真空贯通接口，2个冷却液接口，4个探针座接口,2个电源接口

• 位移方向XYZ三轴,选取交叉滚柱导轨,产品定向机能不变；

• 选取精密研磨丝杆M3*0.5分辨率高，共同做大手轮；

• 行程：X轴40mm，Y轴40mm，Z轴40mm；

• 分辨率3μm，沉复定位精度±2μm，单轴直线度±2μm，自沉1.5Kg，负载5.5Kg；

• 三同轴探针夹具 漏电精度100fA，接三同轴公接口，陶瓷结构；

• 探针臂，选取304不锈钢光轴，保障水平的准直度和刚性；

• 探针臂移动真空密封装置，配置可压缩50mm的焊接波纹管，保障寿命靠得住运行100万次；

• 建设美国进口三轴线缆，低漏流，高精度，满足大部吩祺件测试分析。

• 光学隔振平台专门设计的水平减震机构，隔振基础选取二层气囊隔离，空气隔离器利用空气阻尼技术在各个方向上都提供了优异的减振机能，减振器自身的天然振动频率极度低，预防由瞬变滋扰产生的扭捏；

• 不变轻松调节，不变靠得住结构极度紧凑；

• 平面度＜0.10mm/m²；

• 固有频率垂直1.2Hz～1.8Hz,水平1.2Hz～1.8Hz；

• 振幅＜1.2μm；

• 沉复定位精度±0.05mm。

• 配高清成像CCD，选取USB衔接电脑，2000万像素，能够拍照录像；

• 控温系统选取日本岛电控温仪表配置温控线圈。热电偶形造成材，环PID控和善自整定温补调节，智能化30段法式编程节造，控温精度可达±1°C，显示精度1°C，温度均匀性±3°C；

• 最高温度600°C，最低温度-142°C；

• 高温部件组成及低温部件组成

1、真空机械泵选取中韩合伙型号TRP-36，9L/s抽速，自带防返油阀门，KF25接口，KF25排气口，配有油雾过滤器。极限真空杜着于5Pa；

• 配置KF40手动真空挡板阀，波纹管密封，机能 靠得住，表观大气，手感好；放气阀配置KF16手动放气阀，体积幼巧，机能靠得住；所有真空管路选取不锈钢液压波纹管，具备很好的柔韧度，解除机械泵震荡所带给探针台的影响。

• 真空丈量配置国产成都睿宝电阻真空计，装置1个全金属KF16电阻规

2、配风冷复合分子泵+机械泵，设备真空度在分子泵启动到400Hz后优于3*10-3Pa，30分钟以内优于5*10-4Pa，极限真空度3*10-5Pa；槲梢贫ㄊ接壮到峁，可能满足分歧地位排气必要。

• 分子泵：JTFB-600，抽速600L/s的国产风冷复合分子泵；

• 机械泵：TRP-3，抽速3L/s的合伙机械泵；

• 复合真空计：PDF-5227，CF35电离规和KF16电阻规；

• 转接真空室：CF100—KF40，高度200mm；