底部橡胶隔振面包板，带橡胶隔振地脚，有效断绝Z轴微振；

三维调节样品架，XY轴行程110mm，Z轴行程10mm，整体分辨率3μm，360°粗调，±5°精调；

双方龙门架结构，尺寸: 300mm*150mm*190mm；

三维调节，整体调节精度3μm（可选配05μm，1μm）;

丈量领域：10pA/100fA(屏蔽箱环境)-10A；

行程：XYZ行程别离13mm；

固定方式：可调磁吸吸附；

探针夹持角度：偏摆60°；

配置线缆：同轴线缆（漏电精度10pA）/三同轴线缆（漏电精度100fA）。

放大倍数：402-270倍；

图像传感器：2000万像素，支持电脑节造，拍照录像，HDMI输出；

中心距离：140mm，总高：350mm，起落领域270mm；

目镜：选取高眼点超广角目镜，视场φ23mm；

表置高亮无极调节亮度环形LED光源；

配置显微镜万向支架；

配置高清显示器及显示器万向支架；

可选配XY二维调节装置，行程25*25mm，分辨率3um；

可据需要选配如电子显微镜、高分辨金相显微镜等。

台面尺寸：4/6/8/12英寸可选，有镀金、铝合金、紫铜材质；

4英寸3个吸附孔，6/8英寸4个吸附孔，12英寸5个吸附孔；

PID控温，可加热至300℃，控温精度±0.1℃；

有效区域温度均匀性±5℃；

标配进口无油真空泵，吐出空气量7L/min,持久不变运行；

搭配聚四氟材质旋转可锁紧装置，分离锁紧，360°旋转；

背电极设计，可引出背电极；

吸附孔独立圆槽设计，加强吸附能力，绝缘电学分离处置；

单独吸附孔路，独立真空吸附开关；真空吸附套装附件。

钨钢探针：长38mm，直径05mm，可测电流领域，1fA-1A，针尖直径可。1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；

钨钢镀金探针：长38mm，直径05mm，可测电流领域，1fA-1A，针尖直径可。1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；

镀金软针：长51mm，可测电流领域，1fA-1A，针尖直径可。5/10/30/50/125μm)。